氣體渦輪流量計,羅茨流量計,熱式氣體質量流量計

氣體質量流量計由氣流質量傳感器和數字顯示積算儀構成。

氣體質量流量計采用美國微橋氣流質量傳感器和壓力傳感器。氣流質量傳感器是基于流過傳感器氣流質量帶走的熱量正比于其輸出電壓的熱傳輸原理，壓力傳感器是氣體的壓力正比于輸出電壓，即將氣體質量流量和氣體壓力同時轉換成模擬信號輸出。

數字顯示積算儀的作用是將氣流質量傳感器輸出的氣流質量模擬電信號經由單片機內部的A/D轉換成數字信號。在經過運算處理，把氣體的質量流量轉換成相對應的標準狀態下的體積流量或標準狀態下的質量流量。又經過數據處理運算，分別計算出即時流量和累計流量，送至四位和八位數碼管顯示。

數字顯示積算儀還可以將壓力傳感器輸出的氣體壓力模擬電信號經單片機進行A/D轉化。運算處理氣體壓力值送至三位數碼管顯示出來。